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旋片式真空泵设备润滑系统完好，润滑油质符合规定要求，并定期进行检查，换油。各种仪表（如真空表等）指示值正确，并定期进行校验；各阀门启闭灵活、密封良好，无泄漏现象；管道无泄漏，并定期进行检查。电动机配备合理，运行正常（温升和声响正常），电气线路an全可靠，有接地保护措施，电气装置（控制柜）可靠，电气仪表指示正确；安全防护装置齐全可。设备及冷却系统设施整洁，无锈蚀。水环式真空泵冷却系统运行正常，冷却装置完好，排水温度不超过规定要求，应有断水保护装置。

一般来说所用的工作液都是水。矿用单轴振动筛作用在转子叶轮上的能量被液体接收并传给被压缩的气体，这样就造成了水环的温度升高。水环的部分水与气体一起压缩排除泵外。在压缩过程中产生的大部分热量被带走。因而需要不断的补充新鲜的水，以使水环泵的工作温度能够维持恒定。

电子与微电子工业：微电子技术要求电子元器件和电路的尺寸越来越小，集成度要求越来越高。这与真空技术的应用密不可分，特别是超大规模集成电路的微细加工技术，其几何图形结构的形成、超薄层生长技术、粒子束注入技术都需要高质量、清洁的真空环境，可见其发展对真空技术、装备的依存性。目前，日本真空厂商的销售额中60%左右是面向电子工业，而当今的超大规模集成电路大约有３／４的工序需要有真空条件。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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化工泵按输送介质分类：

1）水泵：包括清水泵、锅炉给水泵、凝水泵、热水泵。

2）耐腐蚀泵：包括不锈钢泵、高硅铸铁泵、陶瓷耐酸泵、不透性石墨泵、衬硬胶泵、硬聚氯*烯泵、屏蔽泵、隔膜泵、钛泵等。

3）杂质泵：包括浆液泵、砂泵、污水泵、煤粉泵、灰渣泵等。

4）油泵：冷油泵、热油泵、潜油泵、油浆泵、液态烃泵等。

微型抽气泵实际是非常精密的仪器，跟普通的民用鱼缸增氧气泵有很大的不同，完全不具备可比性，价格比它们稍高也是非常正常的。即使与上常用的微型气泵比，也要不少。

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抽速定义：在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体的体积称为泵的抽气速率。即气体A的抽气速率SA为流量QA除以这种气体A的分压力PA而得。一般真空泵的抽气速率与气体种类有关。

真空泵维修、抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次应打开气镇，让泵运行30分钟左右,来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。

筒式牵引级是在圆筒形的转子或定子的圆柱面上开一定断面形状的沟槽，如矩形、圆弧形、三角形及其它形状的多头螺旋槽。由于简式牵引泵型线沟槽开在转子圆柱外表面或泵体内表面上，因此可以充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递，提高泵的抽气效果。在设计制造中，可以通过改变螺旋沟槽通道与抽气方向之间的夹角(螺旋升角)来达到较理想的抽气效果。

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